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陶瓷坩埚在多晶硅材料提纯和铸锭中的应用

放大字体  缩小字体 发布日期:2012-07-26  浏览次数:2913
核心提示:石英玻璃坩埚是单晶硅生产中的关键必需品。由于石英玻璃坩埚在单晶硅生产中的成熟应用,人们自然地将石英玻璃坩埚移植到多晶硅的生产中,结果导致了应用失败。技术上成熟的方法是采用陶瓷坩埚提纯多晶硅,在物理法提纯太阳能级多晶硅材料和定向结晶炉(DSS)系统中越来越多的采用陶瓷坩埚。
  
 
 
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